WYTWARZANIE GRUBOWARSTWOWYCH UKŁADÓW SCALONYCH

Realizowane przez nanoszenie pewnych warstw na podłoże. Podłoże to ceramika ( tytanowa, steatytowa, berylowa), podłoże musi mieć dobrą wytrzymałość cieplną, odpowiednie właściwości dielektryczne, wytrzymałość mechaniczną, odpowiednią rozszerzalność cieplną. Na podłoże nakładane są pasty rezystowe (pasty przewodzące : platynowo - złote, palladowo - złote, palladowo - srebrnre ) z palladu ( mieszanina palladu i tlenku palladu ) Taką pastę po nałożeniu wypala się w temp. 780 oC. Pasty mogą posiadać odpowiednie współczynniki cieplne.

nakładane metodą sitodruku

podłoża o strukturze gruboziarnistej

dobre odprowadzanie ciepła