WYTWARZANIE GRUBOWARSTWOWYCH UKŁADÓW SCALONYCH

Realizowane przez nanoszenie pewnych warstw na podłoże. Podłoże to ceramika ( tytanowa , steatytowa , berylowa) , podłoże musi mieć dobrą wytrzymałość cieplną , odpowiednie właściwości dielektryczne , wytrzymałość mechaniczną , odpowiednią rozszerzalność cieplną. Na podłoże nakładane są pasty rezystowe (pasty przewodzące : platynowo – złote , palladowo – złote , palladowo – srebrnre ) z palladu ( mieszanina palladu i tlenku palladu ) Taką pastę po nałożeniu wypala się w temp. 780 oC. Pasty mogą posiadać odpowiednie współczynniki cieplne. nakładane metodą sitodruku podłoża o strukturze gruboziarnistej dobre odprowadzanie ciepła