WYTWARZANIE CIENKOWARSTWOWYCH UKŁADÓW SCALONYCH

Technologia wykonania : wytwarzanie jako cienkie warstwy materiałów osadzone na podłożu biernym , które pełni funkcje izolatora , na to podłoże naniesione są różne elementy – elementy są rozróżnialne. Warstwy nanoszone są przez naparowywanie próżniowe lub rozpylanie katodowe. Elementy składowe są większe niż w układach półprzewodnikowych. Zaletą tych układów są małe pojemności. elementy nakładane metodą próżniową podłoże – układy gładkie słabe odprowadzanie ciepła