WYTWARZANIE CIENKOWARSTWOWYCH UKŁADÓW SCALONYCH

Technologia wykonania : wytwarzanie jako cienkie warstwy materiałów osadzone na podłożu biernym, które pełni funkcje izolatora, na to podłoże naniesione są różne elementy - elementy są rozróżnialne. Warstwy nanoszone są przez naparowywanie próżniowe lub rozpylanie katodowe. Elementy składowe są większe niż w układach półprzewodnikowych. Zaletą tych układów są małe pojemności.

elementy nakładane metodą próżniową

podłoże - układy gładkie

słabe odprowadzanie ciepła